通常、これらのアプリケーションには、加熱、冷却、湿度、および防振の要件に対応するために特別に設計された設備が必要です。 半導体の場合、サイズが小さいほど、振動の影響が大きくなります。 現在、多くの半導体製造機をアクティブな防振台に配置するか、あるいは装置自体に防振機能が組み込まれています。 どちらの場合も、機械メーカーは機械が正しく動作するための最低限の振動基準を設定しています。
建物は、交通、建設、ポンプ、歩行者の歩行など、さまざまな振動源にさらされています。 長年の研究の結果、業界は床の振動の物理学を理解し、それが機械にどのように影響するかを理解しようとしてきました。 下の図では、振動基準/基準（VC）曲線を見ることができます。 これらの曲線は速度で表されます。 速度では、8Hzから80Hzの範囲の値の曲線は平坦な線です。 4 Hz〜8 Hzの信号が線上にあり、8Hzから始まる一定の加速度を示しています。 これらの曲線は一般的な基準であり、ほとんどの場合ガイドラインとして使用されます。
振動に敏感な機械のほとんどは、その機械が適切の動作するための振動曲線を備えています。 多くの場合、これらの機械は防振台の上に取り付けられます。防振台の製造元は、設置された機械を適切に動作させるために、床が維持しなければならない振動曲線も提供します。
これらのタイプの設置では、曲線は通常2本以上の線です。 下の赤い線は、防振台の典型的な曲線であり、装置の適切な動作を保証するものです。
フロアモニタリングの実用的なソリューション
HBKは長年振動を監視するシステムを提供してきました。 新しいソフトウェアプラットフォームであるTesciaは、加速度、速度、または変位を監視し、記録するように設計されています。 HBKのLAN-XIデータ収集ハードウェアと一緒に使用することで、Tesciaは地震用の加速度計に直接接続することができます。 Tesciaのソフトウェアは、加速度を積分または二回積分して、速度と変位の信号を生成することができます。 Tesciaは、FFTまたは1 / nオクターブ表示を使用して、加速度計の速度を視覚的に監視できます。
標準的な方法は、モニターされている各加速度計の1/3オクターブプロットを監視することです。 Tesciaは視覚的な監視だけでなく、各信号のすべての周波数を同時にチェックして、それらのレベルがユーザー定義の基準プロファイルのセットを超えているかどうかを判断する事ができます。 各チャネルは、トリガーを作成するようにプログラムされたプロファイルの上に、異なるプロファイルと時間を持つことができます。 これにより、継続的な警告レベルや瞬間的なアラームレベルが可能になり、トリガーを作成する事ができます。 トリガーを使用して、電子メールやテキストを送信したり、事前トリガーを使用して記録を開始したり、分析を行うことができます。
多くのフロア監視アプリケーションでは、VC曲線が使用されますが、多くの場合、例えば防振装置の場合、防振装置に搭載されているデバイスや防振装置自体の能力に応じて曲線が与えられます。 Tesciaは、これらのより複雑なプロファイルのモニタリングに問題はありません。
多くの事例の中の1つ
以下のスクリーンショットでは、TesciaのシンプルなVC監視構成の例を見ることができます。 このTesciaアプリケーションは、スペクトル内のVC曲線の1/3オクターブを監視します。 信号が赤い線を超えると、20秒のプリトリガによる記録が開始され、画面キャプチャがテキストまたは電子メールで電話またはコンピューターに送信されます。
Tesciaは数百のチャネルを同時に監視でき、各チャネルには個別の超過基準を設定できます。 この例では、12のチャンネルを同じ基準で監視しています。 Tesciaは、システムが各チャンネルを監視し続けている間に記録されたデータにアクセスすることができます。 トリガーされたイベントの時系列や周波数ベースの分析にアクセスするために、Tesciaのシステムを停止する必要はありません。
このように、Tesciaはハンズフリーの長期振動監視に最適なツールであり、トリガーされたイベント中に何が起こったかを分析するための豊富な機能をユーザーに提供します。
振動基準の超過を示す6チャンネルフロア振動モニタリングの例。
スクリーンダンプの下部には、時間の経過に伴う振動レベルが表示されます。
